Annealsys AS-Micro 3 英寸快速热处理系统
AS-Micro
AS-Micro 是紧凑型台式 3 英寸 rapid thermal processor，面向研究应用。该设备可处理从数平方毫米到 3 英寸直径或方形的基片
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Annealsys AS-Micro，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
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产品说明
AS-Micro 是紧凑型台式 3 英寸 rapid thermal processor，面向研究应用。
该设备可处理从数平方毫米到 3 英寸直径或方形的基片。
石英管工艺腔、stainless steel flanges 和 tubular infrared halogen lamps furnace 支持最高 1250°C 工艺和大于 250°C/s 的快速升温速率。
规格参数
| 品牌 | Annealsys |
|---|---|
| 型号 | AS-Micro |
| 产品类型 | 3 英寸 RTP 系统 |
| 处理尺寸 | 最高 3 英寸直径或方形基片 |
| 最高温度 | 1250°C |
| 升温速率 | > 250°C/s |
| 能力 | 大气压或真空快速热退火 |
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