ASM International PE1O6A / PE1O8 碳化硅外延系统
PE1O6A / PE1O8
PE1O6A 是支持 100 mm 和 150 mm 晶圆的单片外延工具，PE1O8 面向 150 mm 和 200 mm 晶圆。两款设备采用单腔 SiC 外延结构和单片横向流反应器
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说明
PE1O6A 是支持 100 mm 和 150 mm 晶圆的单片外延工具，PE1O8 面向 150 mm 和 200 mm 晶圆。
两款设备采用单腔 SiC 外延结构和单片横向流反应器。
系统包括 cassette-to-cassette 操作及高温装卸。
规格
| 型号 | PE1O6A / PE1O8 |
|---|---|
| 产品名称 | PE1O6A & PE1O8 |
| 产品说明 | Our PE1O6A and PE1O8 silicon carbide (SiC) tools use an epitaxy process to deposit the SiC materials on either bare wafers or as part of the transistor device fabrication process. The PE1O6A is a single-wafer epitaxy tool that supports 1 |
FAQ
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