ASM International PE2O8 碳化硅外延系统
PE2O8
PE2O8 是 ASM 用于碳化硅外延的系统，可在裸片和芯片制造过程中沉积 SiC 层。
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说明
PE2O8 是 ASM 用于碳化硅外延的系统，可在裸片和芯片制造过程中沉积 SiC 层。
规格参数
- 型号：PE2O8
- 产品名称：PE2O8™
- The PE2O8™ is ASM’s system for silicon carbide (SiC) epitaxy. The platform enables production of power devices at higher yields and lower cost, meeting higher power specifications within a smaller form factor. It can deposit SiC layers both
规格
| 型号 | PE2O8 |
|---|---|
| 产品名称 | PE2O8™ |
| 产品说明 | The PE2O8™ is ASM’s system for silicon carbide (SiC) epitaxy. The platform enables production of power devices at higher yields and lower cost, meeting higher power specifications within a smaller form factor. It can deposit SiC layers both |
FAQ
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