ASM International XP8 JQCM PEALD 等离子体增强原子层沉积系统
XP8 JQCM PEALD
XP8 JQCM PEALD 支持每个平台最多四个独立四腔工艺模块，每个模块集成四个反应腔。反应器设计用于提高前驱体效率、减少 ALD 循环时间，并支持低温沉积高质量 SiN 薄膜
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XP8 JQCM PEALD 支持每个平台最多四个独立四腔工艺模块，每个模块集成四个反应腔。
反应器设计用于提高前驱体效率、减少 ALD 循环时间，并支持低温沉积高质量 SiN 薄膜。
系统强调薄膜应力和阶梯覆盖率控制，以满足下一代逻辑器件要求。
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