ASM International XP8 QCM PEALD 等离子体增强原子层沉积系统
XP8 QCM PEALD
XP8 QCM PEALD 面向先进节点存储器和逻辑应用，支持硅氧化物和硅氮化物等介电 PEALD 工艺。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 ASM International XP8 QCM PEALD 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持，价格面议。
← 返回产品列表
说明
XP8 QCM PEALD 面向先进节点存储器和逻辑应用，支持硅氧化物和硅氮化物等介电 PEALD 工艺。
规格参数
- 型号：XP8 QCM PEALD
- 产品名称：XP8® QCM PEALD
- XP8 QCM is a PEALD tool focused on advanced node memory and logic applications. It is capable of a broad range of dielectric PEALD processes, including silicon oxide and silicon nitride.
规格
| 型号 | XP8 QCM PEALD |
|---|---|
| 产品名称 | XP8® QCM PEALD |
| 产品说明 | XP8 QCM is a PEALD tool focused on advanced node memory and logic applications. It is capable of a broad range of dielectric PEALD processes, including silicon oxide and silicon nitride. |
FAQ
提交需求
请填写必填信息，我们将在工作日尽快回复。