EC-5000 系列
EC-5000 系列
产品说明 EC-5000 系列排气压力控制器可将处理室的压力值维持在客户设定的范围。
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说明
产品说明
EC-5000 系列排气压力控制器可将处理室的压力值维持在客户设定的范围。
规格参数
| Model EC- | 5104 / 5105 / 5202 |
|---|---|
| Compatible size | NW40 / NW50 / 25 mm PTFE fitting / 1 inch PTFE fitting |
| Materials at gas contact area | SUS316L, Fluoro rubber / PTFE, PEEK, Fluoro rubber |
| Conductance (in vacuum area) | 0.4 to 80L/s / 0.6 to 200L/s / —— |
| Outflow at 100 mm H2O (fully closed) | 20L/min / 25L/min / 3L/min |
规格
| 型号/名称 | EC-5000 系列 |
|---|---|
| Model EC- | 5104 / 5105 / 5202 |
| Compatible size | NW40 / NW50 / 25 mm PTFE fitting / 1 inch PTFE fitting |
| Materials at gas contact area | SUS316L, Fluoro rubber / PTFE, PEEK, Fluoro rubber |
| Conductance (in vacuum area) | 0.4 to 80L/s / 0.6 to 200L/s / —— |
| Outflow at 100 mm H2O (fully closed) | 20L/min / 25L/min / 3L/min |
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