IR-400

IR-400

IR-400 可在沉积过程中实时监测腔室清洗终点。通过优化清洗过程，IR-400 减少了清洗时间和气体用量。清洗气体用量减少会降低对腔室的损害，并增加所有系统部件的寿命。

广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 HORIBA IR-400 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持，价格面议。