LE 系列
LE 系列
产品说明 HORIBA的大流量液源汽化控制系统能够实现多种液体材料的大流量汽化。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 HORIBA LE 系列 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持，价格面议。
← 返回产品列表
说明
产品说明
HORIBA的大流量液源汽化控制系统能够实现多种液体材料的大流量汽化。
规格参数
| Maximum vaporization volume (gas flow rate) | H2O: 10g/min (12.4 SLM) IPA：30g/min (11.1 SLM） TEOS: 50g/min（5.3 SLM） SiCl4：130g/min（17.1 SLM） |
|---|
规格
| 型号/名称 | LE 系列 |
|---|---|
| Application liquid | H2O/IPA/TEOS/SiCl4 Please contact HORIBA if you require vaporizing any liquid materials that are not listed here. |
| Maximum vaporization volume (gas flow rate) | H2O : 10g/min (12.4 SLM) IPA：30g/min (11.1 SLM） TEOS : 50g/min（5.3 SLM） SiCl4：130g/min（17.1 SLM） |
FAQ
相关产品
提交需求
请填写必填信息，我们将在工作日尽快回复。