LE 系列
HORIBA的大流量液源汽化控制系统能够实现多种液体材料的大流量汽化。规格参数 Application liquid H2O/IPA/TEOS/SiCl4 Please contact HORIBA if you require vaporizing any liquid materials that are not listed here. Maxi
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 HORIBA LE 系列,可提供产品参数、报价和售后服务咨询,价格面议。
← 返回产品列表
HORIBA的大流量液源汽化控制系统能够实现多种液体材料的大流量汽化。
| Application liquid | H2O/IPA/TEOS/SiCl4 Please contact HORIBA if you require vaporizing any liquid materials that are not listed here. |
|---|---|
| Maximum vaporization volume (gas flow rate) | H2O: 10g/min (12.4 SLM) IPA:30g/min (11.1 SLM) TEOS: 50g/min(5.3 SLM) SiCl4:130g/min(17.1 SLM) |
请填写必填信息,我们将在工作日尽快回复。