MV-2000 系列
MV-2000 系列
液体直接输送,稳定性高,混合注入系统液体汽化器,采用新的螺旋流加热方法,包含 “High-k”工艺液体在内的一系列液体源的汽化。
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说明
产品说明
液体直接输送,稳定性高,混合注入系统液体汽化器,采用新的螺旋流加热方法,包含 “High-k”工艺液体在内的一系列液体源的汽化。
规格参数
| Model | MV-2000 |
|---|---|
| Liquid Material | All liquids except those corrosive to stainless steel(ex. HCl, HF) |
| Setting Temperature | By vaporization conditions(Control Valve: Max 140 ˚C Vaporizer: Max 200 ˚C) |
| Leak Integrity | ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He) |
| Internal leak standard | ≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s (He) |
| Wetted parts | SUS316L , PFA |
| Temperature Sensor | Thermocouple type K (CA) |
| Pressure Resistance | 1MPa (G) |
| Standard Fitting | Liquid inlet: 1/8 VCR type Male Carrier gas inlet: 1/4 VCR type Female Gas outlet: 1/2 VCR type Male |
| Operating Temperature | 15 - 50 ˚C |
| Option | Air valve(Internal leak standard: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) ) |
规格
| 型号/名称 | MV-2000 系列 |
|---|---|
| 型号 | MV-2000 |
| Liquid Material | All liquids except those corrosive to stainless steel(ex. HCl, HF) |
| Setting Temperature | By vaporization conditions(Control Valve : Max 140 ˚C Vaporizer : Max 200 ˚C) |
| Leak Integrity | ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He) |
| Internal leak standard | ≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s (He) |
| Wetted parts | SUS316L , PFA |
| Temperature Sensor | Thermocouple type K (CA) |
| Pressure Resistance | 1MPa (G) |
| Standard Fitting | Liquid inlet: 1/8 VCR type Male Carrier gas inlet: 1/4 VCR type Female Gas outlet: 1/2 VCR type Male |
| 温度范围 | 15 - 50 ˚C |
| Option | Air valve(Internal leak standard: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) ) |
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