RP-1
RP-1
产品说明 RP-1 通过空气（或 N2）和真空抽吸自动去除光罩/掩膜上的颗粒。
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说明
产品说明
RP-1 通过空气（或 N2）和真空抽吸自动去除光罩/掩膜上的颗粒。
规格参数
| Applicable case | Nikon/Canon/SMIF POD/HORIBA |
|---|---|
| Throughput | Simultaneously blows the glass and pellicle surfaces to remove particles approximately for 1 min. |
| Dimensions | 1190(D) x 1150(W) x 1520(H)mm |
规格
| 型号/名称 | RP-1 |
|---|---|
| Applicable case | Nikon/Canon/SMIF POD/HORIBA |
| Throughput | Simultaneously blows the glass and pellicle surfaces to remove particles approximately for 1 min. |
| 尺寸 | 1190(D) x 1150(W) x 1520(H)mm |
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