VC 系列
VC 系列
产品说明 VC 系列能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源,组建更紧凑的汽化系统。
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说明
产品说明
VC 系列能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源,组建更紧凑的汽化系统。
规格参数
| Model | VC-1420 |
|---|---|
| Flow rate generated*1 (During TEOS generation) | Max. 5.0 CCM conversion (liquid phase conversion) |
| Liquids supported | TEOS, P(OCH3)3, C6F6 |
| Temperature rise | Max. 150°C |
| Pressure generated*1 | Reduced pressure |
| External leak integrity | 1.0x10-8Pa·m3/s |
| Internal Leak Integrity | 1.0x10-6Pa·m3/s |
| Wetted mateliar | 316L Stainless Steel ( polished surface ) |
| Internal heater volume | AC 100V to 120V 70W(35Wx2) |
| Temperature sensor used | Thermocouple K type (CA) |
| Pressure Resistance | 1.0MPa（G） |
| Standard Fitting | Liquid inlet: 1/8 inch VCR type male Gas outlet: 1/4 inch VCR type female |
规格
| 型号/名称 | VC 系列 |
|---|---|
| 型号 | VC-1420 |
| Flow rate generated*1 (During TEOS generation) | Max. 5.0 CCM conversion (liquid phase conversion) |
| Liquids supported | TEOS, P(OCH3)3, C6F6 |
| Temperature rise | Max. 150°C |
| Pressure generated*1 | Reduced pressure |
| External leak integrity | 1.0x10-8Pa·m3/s |
| Internal Leak Integrity | 1.0x10-6Pa·m3/s |
| Wetted mateliar | 316L Stainless Steel ( polished surface ) |
| Internal heater volume | AC 100V to 120V 70W(35Wx2) |
| Temperature sensor used | Thermocouple K type (CA) |
| Pressure Resistance | 1.0MPa（G） |
| Standard Fitting |
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