VR-6000
由基恩士中国提供的 VR-6000 系列; 3D 轮廓测量仪“VR-6000 系列”以非接触方式直接实现粗糙度仪、形状轮廓测量仪的测量。3D 轮廓测量仪以 0.1 µm 分辨率捕捉触针式无法充分测量的面整体形状。还新搭载了电动旋转单元。在旋转样品的同时进行测量,能够消除死角,再现真实的截面形状。可简单测量壁厚及凹陷尺寸。另外,采用 HDR 扫描算法提升...
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| 型号 | VR-6000 |
|---|---|
| 类型 | 控制器 |
| 支持 OS | Windows 10 Professional / Windows 11 Professional |
| 工作头 | VR-6200, VR-6100 |
| 观察视野 | 低倍(大视野) / 15 英寸显示器上的倍率 12× / 横向 / 24.0 mm |
| 纵向 | 18.0 mm |
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| 15 英寸显示器上的倍率 25× | 横向 / 12.0 mm |
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| 纵向 | 9.0 mm |
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| 15 英寸显示器上的倍率 38× | 横向 / 8.0 mm |
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| 纵向 | 6.0 mm |
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| 15 英寸显示器上的倍率 50× | 横向 |
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| 纵向 | 4.5 mm |
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| 高倍(高分辨率) | 15 英寸显示器上的倍率 40× / 横向 / 7.6 mm |
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| 纵向 | 5.7 mm |
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| 15 英寸显示器上的倍率 80× | 横向 / 3.8 mm |
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| 纵向 | 2.9 mm |
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| 15 英寸显示器上的倍率 120× | 横向 / 2.5 mm |
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| 纵向 | 1.9 mm |
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| 15 英寸显示器上的倍率 160× | 横向 |
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| 纵向 | 1.4 mm |
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| 变焦 | 1 至4 倍 |
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| 高度测量 | 显示分辨率 / 0.1 μm |
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| 高度测量 范围 | 无Z 连接 / 低倍(大视野): 10 mm高倍(高分辨率): 1 mm |
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| 有Z 连接 | 低倍(大视野): 50 mm高倍(高分辨率): 30 mm |
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| 重复精度 σ | 无Z 连接 / 0.4 μm *1 |
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| 有Z 连接 | 1.0 μm *1 |
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| 正确性 | 无Z 连接 / ±2.5 μm *1 |
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| 有Z 连接 | ±4.0 μm *1 |
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| 宽度测量 | 重复精度σ / 低倍(大视野): 1 μm高倍(高分辨率): 0.5 μm*1 |
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| 正确性 | 低倍(大视野): ±5 μm高倍(高分辨率): ±2 μm*1 |
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