HEX UHV
HEX UHV 产品资料标题为 World's Most Modular UHV System，并说明其为 HEX 系列 PVD instruments 的最新发展。
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该系统可达到 1 × 10^-10 mbar 的 ultra-high vacuum，同时保持 HEX 平台的开放框架、可拆面板和后续改装/升级能力。
HEX UHV 属于 Korvus Technology 当前 PVD Systems 产品线下的整机系统页面。
| 型号 | HEX UHV |
|---|---|
| 产品类别 | Ultra-high vacuum PVD system |
| 真空能力 | 1 × 10^-10 mbar |
| 平台 | HEX Series PVD instruments |
| 结构 | open frame, removable panels |
| 扩展能力 | retrofits and upgrades |
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