SDCOM

分析 2 毫米至 300 毫米的晶体直径

使用方位角扫描方法在几秒钟内进行分析

快速而精确的晶体取向测量从未如此简单 – 快来了解一下 SDCOM，您的用户友好紧凑型 XRD。方位扫描方法可实现出众快速测量，不到 10 秒钟即可返回结果。

SDCOM 能够测量直径在 2 毫米到 300 毫米之间的任何单晶体，采用方位扫描方法，只需旋转一次测量，不到几秒钟，即可精确测定单晶的完整晶格取向。

SDCOM 适用于研究和生产质量控制，功能多样且易于使用，可轻松适应各种晶圆和硅锭流程步骤。同时由于无需水冷却，因此运行成本极低。

方位扫描方法只需要一次测量旋转即可收集所有必要的数据以完全确定方位，因此能够在不影响精度的情况下在 10 秒内提供结果。

样品旋转 360°，X射线源和探测器的位置可以实现每转一定数量的反射。这些反射使得能够以高达 0.01° 高精度测量晶格相对于旋转轴的取向。

SDCOM 因重量轻便、外形小巧，因此很容易集成到研究或行业流程中。XRD Suite 软件功能强大且直观，可为各类用户提供方便且易于操作的功能。

灵活性是 SDCOM 的关键，这在它可以测量的材料范围上体现得尤为明显。SDCOM 可以测量直径从 2 毫米到 300 毫米的晶体

为了增加灵活性，SDCOM 还支持 Theta 扫描。有了它，您可以使用更多的材料和边角料。

此外，还有各种样品杯和转移夹具，可以进一步扩展 SDCOM 应用的可能性，确保与您的工作流程兼容。还提供手动和电动晶圆映射样品台。

可测量材料的示例包括（方位扫描方法）：

立方晶系，任意未知取向：Si、Ge、GaAs、GaP、InP

立方晶系、特殊取向：Ag、Au、Ni、Pt、GaSb、InAs、InSb、AlSb、ZnTe、CdTe、SiC 3 C、PbS、PbTe、SnTe、MgO、LiF、MgAl 2 O 4、SrTiO 3、LaTiO 3

四方晶系：MgF 2、TiO 2、SrLaAlO 4

六方晶系和三角晶系：SiC 2H、4H、6H、15R、GaN、ZnO、LiNbO 3、SiO 2 （石英）、Al 2 O 3 （蓝宝石）、GaPO 4、La 3 Ga 5 SiO 14

正交晶系：Mg 2 SiO 4、NdGaO 3

SDCOM 的 X射线管采用风冷，无需冷却器或冷却水回路。