NEXIV VMZ-H3030
VMZ-H3030达到NEXIV系列中的最高精度,兼具高度易用性和高性能。
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| XYZ 量程 | 300×300×150 mm |
|---|---|
| 最小读数 | 0.01 μm |
| 最大载重量 | 30 kg(精度保证:10 kg) |
| 最大允许误差 | E UX,E UY,MPE 0.6+2L/1000 μm;E UXY,MPE 0.9+3L/1000 μm;E UZ,MPE 0.9+L/150 μm |
| 精度保证温度 | 20 °C ± 0.5 K |
| 最大驱动速度 | XY 100 mm/s,Z 50 mm/s |
| 自动对焦 | 影像、激光 |
| 外形尺寸与重量 | 主机带底座 1000×1125×1750 mm / 约 500 kg;控制箱约 15 kg |
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