NEXIV VMZ-NWL200
VMZ-NWL200 是集成影像测量系统 NEXIV 和晶圆加载器 NWL200 的自动晶圆测量系统。
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← 返回产品列表VMZ-NWL200 是集成影像测量系统 NEXIV 和晶圆加载器 NWL200 的自动晶圆测量系统。
| 设备 | 影像测量系统:NEXIV(VMZ-S3020 Type2、Type3、TypeTZ);加载器:NWL200 |
|---|---|
| 晶圆尺寸 | 6、8 英寸(SEMI/JEIDA 标准) |
| 兼容载具 | 6 英寸 PA182-60MB-06XX;8 英寸 PA192-80M-06XX(Entegris) |
| 产量 | 25 片晶圆传输时间 6 分 45 秒,不包括测量时间 |
| 最低 L/S | 500 线/毫米 |
| 工作环境温度 | 19-26 ℃ |
| 尺寸 | 4125 × 3040 mm |
| 电源 | AC100-120V/200-240V,50/60Hz |
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