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NEXIV VMZ-NWL200

NEXIV VMZ-NWL200

VMZ-NWL200 是集成影像测量系统 NEXIV 和晶圆加载器 NWL200 的自动晶圆测量系统。

品牌: Nikon Instruments / Nikon Precision价格: 面议服务区域: 全国

广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Nikon Instruments / Nikon Precision NEXIV VMZ-NWL200 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持,价格面议。

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Nikon Instruments / Nikon PrecisionNEXIV VMZ-NWL200
说明规格FAQ

说明

VMZ-NWL200 是集成影像测量系统 NEXIV 和晶圆加载器 NWL200 的自动晶圆测量系统。

规格参数

  • 设备:影像测量系统:NEXIV(VMZ-S3020 Type2、Type3、TypeTZ);加载器:NWL200
  • 晶圆尺寸:6、8 英寸(SEMI/JEIDA 标准)
  • 兼容载具:6 英寸 PA182-60MB-06XX;8 英寸 PA192-80M-06XX(Entegris)
  • 产量:25 片晶圆传输时间 6 分 45 秒,不包括测量时间
  • 最低 L/S:500 线/毫米
  • 工作环境温度:19-26 ℃
  • 尺寸:4125 × 3040 mm
  • 电源:AC100-120V/200-240V,50/60Hz

规格

设备影像测量系统:NEXIV(VMZ-S3020 Type2、Type3、TypeTZ);加载器:NWL200
晶圆尺寸6、8 英寸(SEMI/JEIDA 标准)
兼容载具6 英寸 PA182-60MB-06XX;8 英寸 PA192-80M-06XX(Entegris)
产量25 片晶圆传输时间 6 分 45 秒,不包括测量时间
最低 L/S500 线/毫米
工作环境温度19-26 ℃
尺寸4125 × 3040 mm
电源AC100-120V/200-240V,50/60Hz

FAQ

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