OAI Model C&D P9000 / OAI 6000 集成光刻单元
Model C&D P9000 / OAI 6000
Model C&D P9000 / OAI 6000 集成光刻单元覆盖涂胶、烘烤、对准曝光和显影流程，用于动态晶圆流和并行工艺处理。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 OAI Model C&D P9000 / OAI 6000，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
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产品说明
Model C&D P9000 / OAI 6000 集成光刻单元覆盖涂胶、烘烤、对准曝光和显影流程，用于动态晶圆流和并行工艺处理。
- 集群配置支持动态晶圆流和并行应用处理。
- 单一终端可控制 recipe 和程序选择，P9000 作为主用户界面。
- 设备可减少晶圆搬运，并支持多种晶圆尺寸同时处理。
规格参数
| 品牌 | OAI |
|---|---|
| 型号 | Model C&D P9000 / OAI 6000 |
| 流程 | Coat / Bake / Align-Expose / Develop |
| 制造地 | USA |
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