Pfeiffer Vacuum ATP 1603 M 涡轮分子真空泵
ATP 1603 M
Pfeiffer Vacuum，ATP 1603 M 为涡轮分子真空泵，噪声和振动水平低，适合半导体制造和分析仪器等振动敏感应用。兼容多种前级泵，对轻气体具备优良压缩比，磁悬浮技术带来无磨损件和较长维护间隔
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Pfeiffer Vacuum，ATP 1603 M 为涡轮分子真空泵，噪声和振动水平低，适合半导体制造和分析仪器等振动敏感应用；兼容多种前级泵，对轻气体具备优良压缩比，磁悬浮技术带来无磨损件和较长维护间隔。
产品类型：Turbomolecular vacuum pumps（涡轮分子真空泵）。
特征：低噪声和低振动；兼容多种前级泵；轻气体优良压缩比；磁悬浮技术；较长维护间隔。
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