A-110
运动平台尺寸：160mm × 200mm。A-110.200，A-110.300，A-110.400，尺寸单位为mm。A-110.050，A-110.100，尺寸单位为mm
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← 返回产品列表运动平台尺寸：160mm × 200mm
A-110.200，A-110.300，A-110.400，尺寸单位为mm
A-110.050，A-110.100，尺寸单位为mm
PIglide定位系统配备磁性直线电机、磁预载空气轴承和光学直线光栅尺：非接触式无摩擦运动，可实现高精度和高可靠性
PIglide定位系统非常适合许多高精度应用，如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
PIglide LC线性平台，空气轴承，行程50mm，采用正弦/余弦信号传输的增量直线光栅尺，传感器信号周期20µm，无铁芯三相直线电机，48V
PIglide LC线性平台，空气轴承，行程50mm，采用BiSS-C信号传输的绝对直线光栅尺，传感器分辨率1nm，无铁芯三相直线电机，48V
PIglide LC线性平台，空气轴承，行程100mm，采用正弦/余弦信号传输的增量直线光栅尺，传感器信号周期20µm，无铁芯三相直线电机，48V
PIglide LC线性平台，空气轴承，行程100mm，采用BiSS-C信号传输的绝对直线光栅尺，传感器分辨率1nm，无铁芯三相直线电机，48V
PIglide LC线性平台，空气轴承，行程200mm，采用正弦/余弦信号传输的增量直线光栅尺，传感器信号周期20µm，无铁芯三相直线电机，48V
PIglide LC线性平台，空气轴承，行程200mm，采用BiSS-C信号传输的绝对直线光栅尺，传感器分辨率1nm，无铁芯三相直线电机，48V
PIglide LC线性平台，空气轴承，行程300mm，采用正弦/余弦信号传输的增量直线光栅尺，传感器信号周期20µm，无铁芯三相直线电机，48V
PIglide LC线性平台，空气轴承，行程300mm，采用BiSS-C信号传输的绝对直线光栅尺，传感器分辨率1nm，无铁芯三相直线电机，48V
| 型号 | A-110 |
|---|---|
| 运动 | A-110.050A1 A-110.050B1 A-110.100A1 A-110.100B1 A-110.200A1 A-110.200B1 A-110.300A1 A-110.300B1 A-110.400A1 A-110.400B1 公差 |
| 主动轴 | X X X X X X X X X X |
| X向的行程 | 50 mm 50 mm 100 mm 100 mm 200 mm 200 mm 300 mm 300 mm 400 mm 400 mm |
| X向的加速度，空载 | 20 m/s² 20 m/s² 20 m/s² 20 m/s² 20 m/s² 20 m/s² 20 m/s² 20 m/s² 20 m/s² 20 m/s² max. |
| X向的最大速度，空载 | 500 mm/s 500 mm/s 500 mm/s 500 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s |
| Y向上的直线度误差（直线度） | ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.75 µm ± 0.75 µm ± 1 µm ± 1 µm ± 1 µm ± 1 µm max. |
| Z向上的直线度误差（平面度） | ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.75 µm ± 0.75 µm ± 1 µm ± 1 µm ± 1 µm ± 1 µm max. |
| 绕Y的角度误差（俯仰角） | ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 17.5 µrad ± 17.5 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad max. |
| 绕Z的角度误差（偏转角） | ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 17.5 µrad ± 17.5 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad max. |
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| 定位 | A-110.050A1 A-110.050B1 A-110.100A1 A-110.100B1 A-110.200A1 A-110.200B1 A-110.300A1 A-110.300B1 A-110.400A1 A-110.400B1 公差 |
|---|
| X向的已校准定位精度 | ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm typ. |
|---|
| X向的未校准定位精度 | ± 1.5 µm ± 1.5 µm ± 1.5 µm ± 1.5 µm ± 2 µm ± 1.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 4 µm ± 1.5 µm typ. |
|---|
| X向的双向重复精度 | 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm typ. |
|---|
| 参考点开关 | 编码器参考点 — 编码器参考点 — 编码器参考点 — 编码器参考点 — 编码器参考点 — |
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| 限位开关 | 霍尔效应 — 霍尔效应 — 霍尔效应 — 霍尔效应 — 霍尔效应 — |
|---|
| 集成传感器 | 增量式直线光栅尺 绝对式直线光栅尺 增量式直线光栅尺 绝对式直线光栅尺 增量式直线光栅尺 绝对式直线光栅尺 增量式直线光栅尺 绝对式直线光栅尺 增量式直线光栅尺 绝对式直线光栅尺 |
|---|
| 传感器信号 | 正弦/余弦，1Vpp BiSS-C 正弦/余弦，1Vpp BiSS-C 正弦/余弦，1Vpp BiSS-C 正弦/余弦，1Vpp BiSS-C 正弦/余弦，1Vpp BiSS-C |
|---|
| 传感器信号周期 | 20 µm — 20 µm — 20 µm — 20 µm — 20 µm — |
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| 传感器分辨率 | 4.88 nm 1 nm 4.88 nm 1 nm 4.88 nm 1 nm 4.88 nm 1 nm 4.88 nm 1 nm |
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| 驱动性能 | A-110.050A1 A-110.050B1 A-110.100A1 A-110.100B1 A-110.200A1 A-110.200B1 A-110.300A1 A-110.300B1 A-110.400A1 A-110.400B1 公差 |
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| 驱动类型 | 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 |
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| 标称电压 | 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V |
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| 峰值电压 | 60 V 60 V 60 V 60 V 60 V 60 V 60 V 60 V 60 V 60 V |
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