A-322 带空气轴承的PIglideHS平面扫描仪

PIglide HS平面扫描仪带多个磁性线性电机和一个绝对编码器，并采用真空预载：非接触式无摩擦运动可实现较高精度和可靠性。

该定位系统旨在较大程度地提高产出并确保较高精度。桥轴至龙门轴的挠性联轴器可实现侧向解耦，不会牺牲系统的刚性。

A-322与业界主导的ACS控制器和驱动模块相结合，可提供优异的伺服性能、先进控制算法，从而提高动态性能和误差补偿，并改善一整套软件开发工具。

A-322系列是实现进一步改型的出发点。我们已经开发并测试了关键的核心组件（例如线性电机、测量系统和空气轴承总成），同时验证了其功能。根据客户的应用和要求，A-322系列的变体为量身定制的超精密解决方案提供了理想的出发点。

绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。

适合其他定位器的底座，例如偏摆台或带有压电驱动器的6轴定位器。

PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如计量、光子学和精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。

由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。

基础：XY龙门设计，带3台标准线性电机。

加强：XY龙门设计，带3台高性能液冷式线性电机。适用于高占空比和高加速度的应用。

超强：XY龙门设计，带4台高性能液冷式线性电机。X轴和Y轴均配有2台线性电机和2个线性编码器。这种设计提高了定位精度、重复精度和误差补偿，对于大尺寸的负载尤其如此。

三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。

A-322采用耐用的高质量带状电缆和气动软管。经过大量的研究与开发，我们优化了可实现数百万次免维护周期的电缆管理系统。铁氟龙涂层确保了较低的颗粒形成率。

绝对线性编码器，BiSS-C，钢量规

550±35千帕（80±5磅／平方英寸）

外部抽真空：56升/分钟（2标准立方英尺每分）