E-509 信号调节器/压电伺服模块

用于带应变片传感器和电容式传感器的压电陶瓷定位系统的位置控制

E-509是一个带传感器评估电控的位置控制模块，用于带集成位置传感器的纳米定位系统。它可自动消除电压控制压电操作过程中的漂移或滞后，当负载改变、压电电压立即被调整时，它可补偿压电陶瓷促动器的位置变化。

E-509伺服控制器模块的比例积分位置控制经过了优化，用于压电陶瓷操作。比例和积分项以及控制带宽可单独调整。集成式陷波滤波器（各轴均可设置）可提高稳定性，且可实现更接近压电陶瓷系统的机械谐振频率的更宽带宽操作。因此，根据压电陶瓷机械部件和传感器类型，纳米级的定位准确性和重复精度均可实现。

用于信号评估的E-509.E03和用作伺服控制器模块的E-509.E3均可用于PISeca系列的高分辨率电容式单板传感器。

E-509.C1A / E-509.C2A / E-509.C3A

E-509.S1 / E-509.S3

用于压电陶瓷机械部件的传感器评估和位置伺服控制电控

0.3至3千赫兹（跳线可选择）；可按需增至10千赫兹

LEMO EPL.00.250.NTD

LEMO ERA.0S.304.CLL

LEMO 6针FGG.0B.306.CLAD56

BNC（单通道）/3针LEMO（三通道）

E-500/E-501系列模块化压电控制器：底盘带电源、放大器模块（E-503、E-504、E-505、E-506、E-508）、传感器和伺服控制模块（E-509）、显示和接口模块（E-515、E-517）。