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广西科米瑞实验仪器设备有限公司13422079856122816084@qq.com
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L-509 V6 • V7 • V9 真空兼容型精密线性平台

L-509

行程范围为26至102mm(1”至4”)。L-509.051600V9,尺寸单位为mm。L-509.021100V6,尺寸单位为mm。L-509.031600V9,尺寸单位为mm

品牌: Physik Instrumente (PI)价格: 面议服务区域: 全国

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Physik Instrumente (PI)L-509
说明规格FAQ

说明

行程范围为26至102mm(1”至4”)

L-509.051600V9,尺寸单位为mm

L-509.021100V6,尺寸单位为mm

L-509.031600V9,尺寸单位为mm

L-509.051300V7,尺寸单位为mm

L-509.031300V7,尺寸单位为mm

L-509.021300V7,尺寸单位为mm

L-509.054132V6,尺寸单位为mm

L-509.034132V6,尺寸单位为mm

L-509.024132V6,尺寸单位为mm

L-509.051100V6,尺寸单位为mm

L-509.031100V6,尺寸单位为mm

带防蠕动系统的交叉滚柱导轨带来高运动精度和有效载荷。精密滚珠丝杠,螺距为1mm。紧凑型设计。消除应力的铝基座可实现高稳定性。限位开关。位于行程中点带方向感应的非接触式光学参考点开关。

最值得注意的是,导轨和主轴的润滑采用了一种逸气特性极低的材料。该系统可承受高达80°C的温度。通过对PI V6真空等级的这一和其他修改,此定位器可以使用高达10 -6 hPa。

在这种情况下,使用适合高真空的特殊组件,如电机、测量系统和限位开关。此外,表面由无涂层铝制成,主轴和导轨由不锈钢制成。这样,PI V7真空等级就达到了,这意味着高达10 -7 hPa。

在此真空等级中,产品在所有细节上都进行了优化,并采用了适用于超高真空的组件,以便达到高达10 -9 hPa的PI V9真空等级。除其他外,只有选定类型的塑料用于此目的,使用测量系统时耐受温度为120°C,不使用测量系统时耐受温度为150°C。

规格

型号L-509
运动L-509.021100V6 L-509.031100V6 L-509.051100V6 L-509.024132V6 L-509.034132V6 L-509.054132V6 L-509.021300V7 L-509.031300V7 L-509.051300V7 L-509.031600V9 L-509.051600V9 公差
主动轴X X X X X X X X X X X
X向的行程26 mm 52 mm 102 mm 26 mm 52 mm 102 mm 26 mm 52 mm 102 mm 52 mm 102 mm
X向的最大速度,空载10 mm/s 10 mm/s 10 mm/s 1.5 mm/s 1.5 mm/s 1.5 mm/s 10 mm/s 10 mm/s 10 mm/s 10 mm/s 10 mm/s
Y向上的直线度误差(直线度)± 2 µm ± 4 µm ± 8 µm ± 2 µm ± 4 µm ± 8 µm ± 2 µm ± 4 µm ± 8 µm ± 4 µm ± 8 µm typ.
Z向上的直线度误差(平面度)± 2 µm ± 4 µm ± 8 µm ± 2 µm ± 4 µm ± 8 µm ± 2 µm ± 4 µm ± 8 µm ± 4 µm ± 8 µm typ.
绕Y的角度误差(俯仰角)± 60 µrad ± 90 µrad ± 120 µrad ± 60 µrad ± 90 µrad ± 120 µrad ± 60 µrad ± 90 µrad ± 120 µrad ± 90 µrad ± 120 µrad typ.
绕Z的角度误差(偏转角)± 60 µrad ± 90 µrad ± 120 µrad ± 60 µrad ± 90 µrad ± 120 µrad ± 60 µrad ± 90 µrad ± 120 µrad ± 90 µrad ± 120 µrad typ.
定位L-509.021100V6 L-509.031100V6 L-509.051100V6 L-509.024132V6 L-509.034132V6 L-509.054132V6 L-509.021300V7 L-509.031300V7 L-509.051300V7 L-509.031600V9 L-509.051600V9 公差
X向的最小位移0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm typ.

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X向的单向重复精度± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.05 µm ± 0.05 µm ± 0.05 µm ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.15 µm typ.
限位开关叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN 叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN 叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN 叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN 叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN 叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN 机械式 机械式 机械式 机械式 机械式
电机编码器:传感器信号— — — A/B正交,RS-422 A/B正交,RS-422 A/B正交,RS-422 — — — — —
电机编码器— — — 增量式旋转编码器 增量式旋转编码器 增量式旋转编码器 — — — — —
驱动性能L-509.021100V6 L-509.031100V6 L-509.051100V6 L-509.024132V6 L-509.034132V6 L-509.054132V6 L-509.021300V7 L-509.031300V7 L-509.051300V7 L-509.031600V9 L-509.051600V9 公差
驱动类型两相步进电机 两相步进电机 两相步进电机 直流齿轮电机 直流齿轮电机 直流齿轮电机 两相步进电机 两相步进电机 两相步进电机 两相步进电机 两相步进电机
标称电压24 V 24 V 24 V 12 V 12 V 12 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V
最大功耗10 W 10 W 10 W — — — 10 W 10 W 10 W 10 W 10 W
电机分辨率200 全步/转 200 全步/转 200 全步/转 — — — 200 全步/转 200 全步/转 200 全步/转 200 全步/转 200 全步/转
X向的正向运动的驱动力60 N 60 N 60 N 60 N 60 N 60 N 60 N 60 N 60 N 60 N 60 N typ.
X向的负向运动的驱动力60 N 60 N 60 N 60 N 60 N 60 N 60 N 60 N 60 N 60 N 60 N typ.
相间电阻3.3 Ω 3.3 Ω 3.3 Ω 4.09 Ω 4.09 Ω 4.09 Ω 1.7 Ω 1.7 Ω 1.7 Ω 1.7 Ω 1.7 Ω typ.
相间电感2.8 mH 2.8 mH 2.8 mH 0.18 mH 0.18 mH 0.18 mH 3 mH 3 mH 3 mH 3 mH 3 mH

FAQ