M-110 • M-111 • M-112 V6 真空兼容紧凑型线性平台

适用于高达10 -6 hPa的真空度

M-11x.1VG1，尺寸单位为mm

带皮带传动的折叠式驱动，线性平台结构紧凑。通光孔径直径为10mm。XY装置可直接安装，无需接装板。

最值得注意的是，导轨和主轴的润滑采用了一种逸气特性极低的材料。该系统可承受高达80°C的温度。通过对PI V6真空等级的这一和其他修改，此定位器可以使用高达10 -6 hPa。

真空腔。研究。高能束线设备。显微镜。电子元件组装和检验。

最小位移说明：在使用推荐控制器时可实现所列数值

额定电流说明：所列数值适用于每个相位

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

M-110.x1 / M-111.x1 / M-112.x1微平移位移台

带电机的定位器：M-06x、M-11x、M-12x、M-4xx、M-5xx

真空兼容紧凑型线性平台；直流齿轮电机；行程为5mm；有效载荷为30N；最大速度为1mm/s；细牙螺纹主轴；增量旋转编码器，分辨率为2048cts./rev.，A/B正交，RS-422；真空兼容至10 -6 hPa；0.5m电缆长度

真空兼容紧凑型线性平台；直流齿轮电机；行程为15mm；有效载荷为30N；最大速度为1.5mm/s；细牙螺纹主轴；增量旋转编码器，分辨率为2048cts./rev.，A/B正交，RS-422；真空兼容至10 -6 hPa；0.5m电缆长度

真空兼容紧凑型线性平台；直流齿轮电机；行程为25mm；有效载荷为20N；最大速度为1.5mm/s；细牙螺纹主轴；增量旋转编码器，分辨率为2048cts./rev.，A/B正交，RS-422；真空兼容至10 -6 hPa；0.5m电缆长度

认真处理、充足空间：PI不仅具有验定材料、部件和最终产品的必要设备，同时也具有高真空和超高真空定位系统方面的多年经验。