N-111
集成式直接测量线性光栅尺,分辨率为5nm。采用PiezoWalk 步进驱动实现纳米精度和大进给力。数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动,将动轮向前推进
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采用PiezoWalk 步进驱动实现纳米精度和大进给力
数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动,将动轮向前推进。促动器控制可实现以远低于1nm分辨率的最小步进和推进运动。
非接触式光学编码器以极高的精度直接测量台子的位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。
PI压电电机可设计用于真空,并且适合在强磁场中运行。特殊版本的驱动器适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的环境中或无尘室中。
nanostepping模式下的速度:取决于驱动电控。nanostepping模式下的最大速度是为了实现最佳恒定性设计的,如此一来,步进时就没有速度变化
驱动力:数据适用于fullstep模式下。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
N-111.201和N-111.2A1 NEXLINE® OEM压电步进促动器
NEXLINE OEM线性促动器;NEXLINE压电陶瓷步进驱动器;行程为10mm;进给力为50N;电缆长度为1.5m
NEXLINE OEM线性促动器;NEXLINE压电陶瓷步进驱动器;行程为10mm;进给力为50N;增量式线性光栅尺;电缆长度为1.5m
PiezoWalk驱动器是十多年前为半导体产业开发的。就可靠性、位置分辨率和长期稳定性而言,半导体产业是一个非常严苛的行业。
认真处理、充足空间:PI不仅具有验定材料、部件和最终产品的必要设备,同时也具有高真空和超高真空定位系统方面的多年经验。
PI将增量测量系统用于超过1毫米的较长行程范围。这些传感器,大多数情况下都是光学传感器,可实现低至皮米的位置分辨率。
| 型号 | N-111 |
|---|---|
| 运动 | N-111.201 N-111.2A1 公差 |
| 主动轴 | X X |
| X向的行程 | 10 mm 10 mm |
| X向的行程(模拟模式) | ± 2 µm ± 2 µm |
| 速度(10%占空比,全步模式) | 1 mm/s 1 mm/s max. |
| 速度(100%占空比,全步模式) | 0.6 mm/s 0.6 mm/s max. |
| 速度(100%占空比,纳米步进模式) | 0.4 mm/s 0.4 mm/s max. |
| 定位 | N-111.201 N-111.2A1 公差 |
| 参考点开关 | — 光学、方向感应(参考边缘跟踪),5V,TTL |
| X向的开环分辨率 | 0.025 nm 0.025 nm typ. |
| 集成传感器 | — 增量式直线光栅尺 |
| X向的系统分辨率 | — 5 nm |
| 驱动性能 | N-111.201 N-111.2A1 公差 |
| 驱动类型 | NEXLINE压电步进驱动器 NEXLINE压电步进驱动器 |
| 工作电压 | -250至+250 V -250至+250 V |
| X向的驱动力 | 50 N 50 N max. |
| 机械性能 | N-111.201 N-111.2A1 公差 |
| X向的保持力,被动 |
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| 70 N 70 N min. |
| 总质量 | 245 g 325 g |
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| 材料 | 铝,不锈钢,钛 铝,不锈钢,钛 |
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| 其他 | N-111.201 N-111.2A1 公差 |
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| 工作温度范围 | 0至55 °C 0至55 °C |
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| 接头 | D-sub 25(公头) D-sub 25(公头) |
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