N-565 带线性编码器实现超高精度

超高精度：最小位移为2纳米，直接测量PIOne编码器的分辨率为0.5纳米

长行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米

PiezoWalk技术带来长使用寿命和高可靠性

紧凑型设计：宽为65毫米、高为20毫米

P-565，尺寸单位是mm。N-565.160：a=75；b=70；c=80 N-565.260：a=100；b=100；c=110 N-565.360：a=150；b=150；c=160。

带NEXACT PiezoWalk驱动器的线性平台可在长行程范围内实现纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴承，可实现超高精度。

高分辨率PIOne编码器由PI研发，在对测量数据进行相应处理后，可实现远低于1纳米的位置分辨率。此外，由于信号周期短、信号质量高，PIOne编码器的线性误差小于1 %。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。

PiezoWalk技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性，而且根据其驱动原理，其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理，PiezoWalk步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触，这几个促动器沿一个动轮步进。静止状态下，PiezoWalk步进驱动器自锁，不消耗能量，无热量产生。

样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。.

N-565 NEXACT® Linear Stage

N-524、N-565、N-765 NEXACT®平台

PiezoWalk驱动器是十多年前为半导体产业开发的。就可靠性、位置分辨率和长期稳定性而言，半导体产业是一个非常严苛的行业。

数字技术为提高不存在于传统模拟技术的控制工程的性能开辟了可能性。

由PI开发的PIOne高分辨率线性传感器保证小于1纳米的定位分辨率和充分测量分析。