Q-521
采用集成式增量编码器实现直接位置测量。带接装板或支架（作为选配件提供）的多轴系统装置。压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器，其保持力相对较大，行程几乎是无限的
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带接装板或支架（作为选配件提供）的多轴系统装置
压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器，其保持力相对较大，行程几乎是无限的。惯性驱动器原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。促动器缓慢膨胀，移动转子。由于其惯性，转子无法跟上促动器随后的快速收缩，停留在其位置上。直接作用在动轮上的驱动器在20kHz的最高工作频率下，可达到6mm/s的最大速度。
线性平台配备非接触式测量光学线性光栅尺和参考点开关。分辨率为4nm或1nm，取决于不同版本。
微装配。光子 光学对准。显微镜。高能束线设备。半导体技术。测试应用。
E-873.1AT、E-873.10C885
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
Q-Motion定位器：Q-5xx、Q-6xx
Q-521 Q-Motion小型线性定位平台，压电惯性驱动器
Q-Motion小型线性平台，压电惯性驱动器，行程为12mm，线性光栅尺，分辨率为4nm，驱动力为0.6N，尺寸为21×30×10mm（宽×长×高）
Q-Motion小型线性平台，压电惯性驱动器，行程为12mm，线性光栅尺，分辨率为1nm，驱动力为0.6N，尺寸为21×30×10mm（宽×长×高）
Q-Motion小型线性平台，压电惯性驱动器，行程为22mm，线性光栅尺，分辨率为4nm，驱动力为0.6N，尺寸为21×32×10mm（宽×长×高）
Q-Motion小型线性平台，压电惯性驱动器，行程为22mm，线性光栅尺，分辨率为1nm，驱动力为0.6N，尺寸为21×32×10mm（宽×长×高）
Q-Motion小型线性平台，压电惯性驱动器，行程为32mm，线性光栅尺，分辨率为4nm，驱动力为0.6N，尺寸为21×42×10mm（宽×长×高）
Q-Motion小型线性平台，压电惯性驱动器，行程为32mm，线性光栅尺，分辨率为1nm，驱动力为0.6N，尺寸为21×42×10mm（宽×长×高）
| 型号 | Q-521 |
|---|---|
| 运动 | Q-521.130 Q-521.140 Q-521.230 Q-521.240 Q-521.330 Q-521.340 公差 |
| 主动轴 | X X X X X X |
| X向上的行程 | 12 mm 12 mm 22 mm 22 mm 32 mm 32 mm |
| X向上的最大速度，空载 | 6 mm/s 6 mm/s 6 mm/s 6 mm/s 6 mm/s 6 mm/s typ. |
| X向上的线性度 | 3.5 µm 3.5 µm 3.5 µm 3.5 µm 3.5 µm 3.5 µm typ. |
| 定位 | Q-521.130 Q-521.140 Q-521.230 Q-521.240 Q-521.330 Q-521.340 公差 |
| X向上的最小位移 | 50 nm 30 nm 50 nm 30 nm 50 nm 30 nm typ. |
| 参考点开关 | 光学 光学 光学 光学 光学 光学 |
| 集成传感器 | 增量直线光栅尺 增量直线光栅尺 增量直线光栅尺 增量直线光栅尺 增量直线光栅尺 增量直线光栅尺 |
| 传感器信号 | 正弦/余弦，1Vpp 正弦/余弦，1Vpp 正弦/余弦，1Vpp 正弦/余弦，1Vpp 正弦/余弦，1Vpp 正弦/余弦，1Vpp |
| 传感器分辨率 | 4 nm 1 nm 4 nm 1 nm 4 nm 1 nm |
| 驱动性能 | Q-521.130 Q-521.140 Q-521.230 Q-521.240 Q-521.330 Q-521.340 公差 |
| 驱动类型 | Q-Motion压电电机 Q-Motion压电电机 Q-Motion压电电机 Q-Motion压电电机 Q-Motion压电电机 Q-Motion压电电机 |
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| X向上的正向运动的驱动力 | 0.6 N 0.6 N 0.6 N 0.6 N 0.6 N 0.6 N typ. |
|---|
| X向上的负向运动的驱动力 | 0.6 N 0.6 N 0.6 N 0.6 N 0.6 N 0.6 N typ. |
|---|
| 机械性能 | Q-521.130 Q-521.140 Q-521.230 Q-521.240 Q-521.330 Q-521.340 公差 |
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| X向上的保持力，被动 | 1.3 N 1.3 N 1.3 N 1.3 N 1.3 N 1.3 N typ. |
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| 最大负载能力，底板沿任意方向 | 0.06 kg 0.06 kg 0.06 kg 0.06 kg 0.06 kg 0.06 kg |
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| 最大负载能力，底板沿水平方向 | 0.3 kg 0.3 kg 0.3 kg 0.3 kg 0.3 kg 0.3 kg |
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| 导轨 | 交叉滚柱导轨 交叉滚柱导轨 交叉滚柱导轨 交叉滚柱导轨 交叉滚柱导轨 交叉滚柱导轨 |
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| 总质量 | 110 g 110 g 126 g 126 g 135 g 135 g |
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| 不含电缆的质量 | 24 g 24 g 34 g 34 g 48 g 48 g |
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| 材料 | 不锈钢 不锈钢 不锈钢 不锈钢 不锈钢 不锈钢 |
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