TFXRD Lab

TFXRD Lab

高分辨率X射线衍射（HRXRD）与X射线反射（XRR）系统，可实现非图案化外延薄膜的厚度、密度、表面/界面粗糙度、成分分布、应变、弛豫状态及倒易空间映射（RSM）的多维度表征。系统具备全晶圆映射能力，可覆盖直径达300mm的晶圆，适用于半导体制造的近厂（Near-Fab）应用场景。

广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Rigaku TFXRD Lab，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。