Sonix AutoWafer Pro 自动晶圆检测系统
AutoWafer Pro
AutoWafer Pro 是用于生产环境中键合晶圆缺陷检测的超声设备，可对 200mm 和 300mm 键合晶圆进行快速高分辨率扫描。
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说明
产品说明
AutoWafer Pro 是用于生产环境中键合晶圆缺陷检测的超声设备，可对 200mm 和 300mm 键合晶圆进行快速高分辨率扫描。
- 系统面向生产环境的自动晶圆检测。
- 适用于 MEMS、BSI Sensors、CMOS、memory、TSV 和 LED 等晶圆应用。
- 设备用于识别键合缺陷。
规格参数
| 品牌 | Sonix |
|---|---|
| 型号 | AutoWafer Pro |
| 产品类型 | Automated Wafer Inspection System |
| 晶圆尺寸 | 200mm / 300mm |
规格
| 型号 | AutoWafer Pro |
|---|---|
| 晶圆尺寸 | 200mm / 300mm |
FAQ
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