SC1(日本产)/SC1-N(中国产)
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冷阴极电离真空计
Model:SC1(日本产)/SC1-N(中国产)
易于维护的冷阴极电离真空计
关于Model:SC1(日本产)/SC1-N(中国产)的介绍、购买、商讨
测量部件和测量电路一体化集成
模拟输出和设定点输出
独立的模拟日志输出和设定点输出(显示单元)
采用DIN标准尺寸48 x 96 mm(显示单元)
用于半导体,光学和电子零件制造的精密真空设备的压力范围内的过程控制
低真空范围的过程控制,适用于熔解炉等工业设备
具有多个工艺腔体的真空系统的压力范围内的过程控制,例如in-line式溅射设备和晶圆制造设备
| 型号 | SC1(日本产)/SC1-N(中国产) |
|---|---|
| 产品分类 | 冷阴极电离真空计 |
| 传感器 单元 | 显示单元 / 特征 |
| 数字 | 数字4CH |
| 皮拉尼真空计 | SW1 SP1 / ISG1 / IM1R1 IM2R1 / ・10 -2 ~10 +5 Pa ・价格低 |
| 热的 阴极 真空计 | SH2 / ・5x10 -8 ~9.9x10 0 Pa ・测量范围广 ・多离子真空计适用 |
| 冷 阴极 真空计 | SC1 / ・5x10 -5 ~1Pa ・低运行成本 |
| 电容 压力计 | CCMT-D / DC15V DC24V / ・陶瓷隔膜规格 ・可以高精度测量低,中真空 |
| 特征 | ・测定子一体型 ・类似物输出 ・设定点输出 / ・DC24V适用 ・设定点3点 ・查看方便LED / ・4CH同时表示 ・设定点8点 ・节省空间 |
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