Annealing & wafer thermal processing – 广西科米瑞实验仪器设备有限公司

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ASM InternationalA400 DUO

A400 DUO 是 ASM 面向 200 mm 及更小晶圆的批量立式炉，应用于功率、模拟、射频和 MEMS 器件市场。

AnnealsysAS-One

AS-One 可用于 rapid thermal annealing 和 rapid thermal CVD 工艺开发。AS-One 100 可处理最高 100 mm 基片，AS-One Plus 可处理最高 150 mm 直径基片

AnnealsysZenith Series

Zenith 系列用于最高 2000°C 的高温 RTP 工艺，页面列出可在 2000°C 运行 1 小时。Zenith 100 可处理最高 100 mm 晶圆，Zenith 200 可处理最高 200 mm 样品

AnnealsysAS-Premium

AS-Premium 是多配置 RTP 平台，可处理硅和化合物半导体晶圆。该系统可用于手动上样的研发应用，也可用于 cassette-to-cassette atmospheric robot loading 或 vacuum cluster tool 的生产应用

AnnealsysAS-Master

AS-Master 是 200 mm RTP/RTCVD 系统，可从室温到 1450°C、低至 10^-6 Torr 运行。

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