API XD Laser 激光干涉仪

XD Laser激光干涉仪，一次安装即可以测得6个参数，包括1个位置度误差，2个直线度误差和3个角度误差。通常时间需数天进行的测试，使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成，实际应用结果表明:工作效率提升5倍。

该仪器体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上。XD Laser 6D激光干涉仪主要由稳频激光器、干涉镜和6D传感器组成，从激光器发出的激光光束经过干涉后，被6D传感器内的分光镜分成三束，一束光经锥角反射棱镜反射后返回干涉仪与参考光束相干涉产生干涉条纹，经光学相位探测器识别后进行电子计数，记录精确长度位置。第二束光作直线度测量的参考光束，传感器与参考光束之间的相对位移由装载传感器内的横向光电二极管测得。第三束光用作装在6D传感器内的小型光电测角仪的参考光源用来测量角度误差(俯仰角和偏摆角)。

为了保证激光光束的稳定性，测量仪在结构的设计以及激光器的选择方面都做了仔细周密的考虑，以使测量仪的横向和角度漂移量都降到非常小，从而保证测量仪的长期稳定性。测量仪配有自动气压、环境温度补偿器，自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响，测量仪还配有专门设计的多重数字滤波器，使由空气波动及温度梯度引起的测量误差降到很低。