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威尔 WALE FFT-CYA 系列 自动圆柱度谐波分析测量仪
WALE / 威尔
超微传感:0.001μm级分辨率传感器,精准捕捉纳米级表面形貌特征
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MEASUREMENT APPROACH
Product overview & applications
威尔WALE FFT-CYA系列 自动圆柱度谐波分析测量仪
超微传感：0.001μm级分辨率传感器，精准捕捉纳米级表面形貌特征
精密运动：高刚性空气轴承回转系统（径向跳动≤0.05μm），确保测量基准稳定性
抗扰采集：宽频信号处理能力，实现纯净信号提取
智能隔振：多级隔振系统，有效隔离环境微振动干扰
Technical specifications
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| FFT-CYA系列 自动圆柱度谐波分析测量仪 | ||
|---|---|---|
| 项 目 | 参数名称 | FFT-CYA |
| 谐波分析 | 分析波段 | 1-512upr |
| 回转轴系 | FFT max1 | 0.03μm |
| FFT max2 | 0.02μm | |
| FFT max3 | 0.01μm | |
| 旋转速度 | 6rpm | |
| 最大测量直径 | 300mm | |
| 最大工件直径 | 450mm | |
| 传感器 | 传感器量程范围 | ±500 μm |
| 传感器分辨率 | 最高0.001μm | |
| 水平臂 | 水平移动范围 | 165mm |
| 水平凸出量 | 25mm | |
| 圆周检测器 | 圆周采样点数 | 16384 |
| 圆周分度精度 | 2/10000 | |
| 隔振系统 | 隔振方式 | 全频带隔振 |
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