测量方法
产品概述与应用
产品说明
AS-Master 是用于研发到生产的 200 mm RTP/RTCVD 系统。
该系统从室温到 1450°C，真空水平低至 10^-6 Torr，并可选扩展 RTCVD 能力。
AS-Master 可用于生产应用的 cassette-to-cassette loading system，手动装载版本可用于工艺开发。
规格参数
| 品牌 | Annealsys |
|---|---|
| 型号 | AS-Master |
| 产品类型 | 200 mm RTP / RTCVD 系统 |
| 处理尺寸 | 200 mm |
| 温度范围 | 室温至 1450°C |
| 真空水平 | 低至 10^-6 Torr |
| 装载方式 | cassette-to-cassette 或手动装载版本 |
技术参数
| 品牌 | Annealsys |
|---|---|
| 型号 | AS-Master |
| 产品类型 | 200 mm RTP / RTCVD 系统 |
| 处理尺寸 | 200 mm |
| 温度范围 | 室温至 1450°C |
| 真空水平 | 低至 10^-6 Torr |
| 装载方式 | cassette-to-cassette 或手动装载版本 |
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