AML AWB 对准晶圆键合机
AMLAWBAWB 是 Applied Microengineering Ltd. 的 Aligner Wafer Bonder，用于晶圆对准与键合。该系统支持原位对准，并提供过程实时观察、自由基活化、蒸汽注入和晶圆分离等功能
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AML ROCK 超高真空对准晶圆键合机
AMLROCKROCK 是 Applied Microengineering Ltd. 的 Aligner Wafer Bonder，具备原位对准和超高真空能力。ROCK 在 AWB 功能基础上增加 UHV 能力
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