测量方法
产品概述与应用
产品说明
AS-One 可用于 rapid thermal annealing 和 rapid thermal CVD 工艺开发。
AS-One 100 可处理最高 100 mm 基片，AS-One Plus 可处理最高 150 mm 直径基片。
该设备采用 stainless steel cold wall process chamber，面向研究实验室和小规模生产。
规格参数
| 品牌 | Annealsys |
|---|---|
| 型号 | AS-One |
| 产品类型 | RTP / RTA-CVD 炉 |
| 型号尺寸 | AS-One 100 / AS-One Plus |
| 处理尺寸 | 最高 100 mm 或 150 mm 直径基片 |
| 工艺 | RTA、RTO、RTN、CVD 等 |
技术参数
| 品牌 | Annealsys |
|---|---|
| 型号 | AS-One |
| 产品类型 | RTP / RTA-CVD 炉 |
| 型号尺寸 | AS-One 100 / AS-One Plus |
| 处理尺寸 | 最高 100 mm 或 150 mm 直径基片 |
| 工艺 | RTA、RTO、RTN、CVD 等 |
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