测量方法
产品概述与应用
产品说明
AS-Premium 是多配置 RTP 平台，可处理硅和化合物半导体晶圆。
该系统可用于手动上样的研发应用，也可用于 cassette-to-cassette atmospheric robot loading 或 vacuum cluster tool 的生产应用。
反应器与 loadlock、turbo pumps 可提供 oxygen free environment，用于 silicon smoothening 和其他氧敏感工艺。
规格参数
| 品牌 | Annealsys |
|---|---|
| 型号 | AS-Premium |
| 产品类型 | 方腔 RTP 系统 |
| 处理尺寸 | 最高 150 mm 直径或 156 x 156 mm² |
| 装载方式 | 手动上样、cassette-to-cassette 或 vacuum cluster tool |
| 能力 | oxygen free environment，取决于配置 |
技术参数
| 品牌 | Annealsys |
|---|---|
| 型号 | AS-Premium |
| 产品类型 | 方腔 RTP 系统 |
| 处理尺寸 | 最高 150 mm 直径或 156 x 156 mm² |
| 装载方式 | 手动上样、cassette-to-cassette 或 vacuum cluster tool |
| 能力 | oxygen free environment，取决于配置 |
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