测量方法
产品概述与应用
产品说明
MC-050 是 2 英寸 DLI-CVD / DLI-ALD reactor，面向研发单位。
红外灯炉与 direct liquid injection vaporizers 组合，使同一工艺腔具备 CVD、ALD、MOCVD、RTP 和 RTCVD 能力。
Direct Liquid Injection vaporizers 可控制 precursor flow，并允许使用低蒸气压和稀释化学前驱体。
规格参数
| 品牌 | Annealsys |
|---|---|
| 型号 | MC-050 |
| 产品类型 | 2 英寸 DLI-CVD / DLI-ALD 系统 |
| 工艺能力 | DLI-CVD、DLI-ALD、MOCVD、RTP、RTCVD |
| 应用 | 氧化物、金属、氮化物、合金、III-V、宽带隙半导体、2D 材料 |
技术参数
| 品牌 | Annealsys |
|---|---|
| 型号 | MC-050 |
| 产品类型 | 2 英寸 DLI-CVD / DLI-ALD 系统 |
| 工艺能力 | DLI-CVD、DLI-ALD、MOCVD、RTP、RTCVD |
| 应用 | 氧化物、金属、氮化物、合金、III-V、宽带隙半导体、2D 材料 |
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