测量方法
产品概述与应用
产品说明
F-CLUE采用光纤耦合方案，为阴极荧光成像和光谱分析提供了灵活的接口。F-CLUE的紧凑型设计及可收缩收集臂可与任何品牌的扫描电镜耦合，且不会对扫描电镜性能造成限制。
规格参数
| 光谱范围 | UV-VIS 或 VIS-NIR 光纤耦合 |
|---|---|
| 金刚石切削收集镜 | 抛物镜 短 & 长工作距离 |
| 200 mm 伸缩臂 | 真空下马达微调 |
| CL 成像探测器 | 标准: 全色光和单色光CL，室温 PMT 可选:制冷 PMT, IGA 单道, 光子计数器 PMT, 时间分辨 PMT, RGB 滤光片 |
| CL 光谱仪类型 | microHR（焦长180mm）或iHR 320（焦长320mm）,多达 3 块光栅, 2入口/2出口 |
| 升级可行性 | 可在PL, MicOS系统上升级 |
| 电子束控制 | CL-LINK 控制多个采集过程 (模拟, 脉冲, SE), 线扫描成像, 点测试，同步光谱测试, 电镜由外部控制扫描 |
| 软件 | LabSpec 6™控制光谱仪和成像 |
| 远程控制器 | 可选 |
| Clue 附件 | 偏振, ND 滤光片, 摄像机, EMCCD 等 |
| SEM 附件 | 液氦/ 液氮制冷台, EBIC 探测器和其它可兼容 CLUE 系列的附件 |
技术参数
| 品牌 | HORIBA |
|---|---|
| 型号/名称 | F-CLUE |
| 光谱范围 | UV-VIS 或 VIS-NIR 光纤耦合 |
| 金刚石切削收集镜 | 抛物镜 短 & 长工作距离 |
| 200 mm 伸缩臂 | 真空下马达微调 |
| CL 成像探测器 | 标准: 全色光和单色光CL，室温 PMT 可选:制冷 PMT, IGA 单道, 光子计数器 PMT, 时间分辨 PMT, RGB 滤光片 |
| CL 光谱仪类型 | microHR（焦长180mm）或iHR 320（焦长320mm）,多达 3 块光栅, 2入口/2出口 |
| 升级可行性 | 可在PL, MicOS系统上升级 |
| 电子束控制 | CL-LINK 控制多个采集过程 (模拟, 脉冲, SE), 线扫描成像, 点测试，同步光谱测试, 电镜由外部控制扫描 |
| 软件 | LabSpec 6™控制光谱仪和成像 |
| 远程控制器 | 可选 |
| Clue 附件 | 偏振, ND 滤光片, 摄像机, EMCCD 等 |
| SEM 附件 | 液氦/ 液氮制冷台, EBIC 探测器和其它可兼容 CLUE 系列的附件 |
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