Annealsys Jipelec JetFirst 300 快速热退火系统
Jipelec JetFirst 300
JetFirst 300 是 300 mm cold wall chamber rapid thermal annealing system。该系统标配 gas mixing 和 vacuum capability
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说明
产品说明
JetFirst 300 是 300 mm cold wall chamber rapid thermal annealing system。
该系统标配 gas mixing 和 vacuum capability。
JetFirst chamber reactor 可接收最高 12 英寸样品，12 英寸反应腔针对 8 英寸样品进行了优化。
规格参数
| 品牌 | Annealsys / Jipelec |
|---|---|
| 型号 | Jipelec JetFirst 300 |
| 产品类型 | 快速热退火系统 |
| 反应腔 | 300 mm cold wall chamber |
| 样品尺寸 | 最高 12 英寸；8 英寸样品优化 |
| 温度测量 | optical pyrometer 和 thermocouple |
规格
| 型号 | Jipelec JetFirst 300 |
|---|---|
| 反应腔 | 300 mm cold wall chamber |
| 样品尺寸 | 最高 12 英寸；8 英寸样品优化 |
| 温度测量 | optical pyrometer 和 thermocouple |
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