ASM International Previum 预清洁模块
Previum
ASM 官网列出 Previum V3、Previum NEXT 和 Previum VP 三种解决方案。Previum 设计用于在晶圆进入 Intrepid 工具进行外延沉积前清洁原生氧化物和碳污染物
广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 ASM International Previum 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持，价格面议。
← 返回产品列表
说明
ASM 官网列出 Previum V3、Previum NEXT 和 Previum VP 三种解决方案。
Previum 设计用于在晶圆进入 Intrepid 工具进行外延沉积前清洁原生氧化物和碳污染物。
预清洁方案选择取决于晶圆表面的杂质和结构特征。
规格
| 型号 | Previum |
|---|---|
| 产品名称 | Previum® |
| 产品说明 | Our Previum® preclean module delivers superior surface preparation by removing contaminants from silicon wafers, ensuring optimal conditions for high-quality epitaxial deposition. Three solutions are available: Previum® V3 for native oxide |
FAQ
提交需求
请填写必填信息，我们将在工作日尽快回复。