
ASM International Previum 预清洁模块
ASM 官网列出 Previum V3、Previum NEXT 和 Previum VP 三种解决方案。Previum 设计用于在晶圆进入 Intrepid 工具进行外延沉积前清洁原生氧化物和碳污染物

ASM 官网列出 Previum V3、Previum NEXT 和 Previum VP 三种解决方案。Previum 设计用于在晶圆进入 Intrepid 工具进行外延沉积前清洁原生氧化物和碳污染物
材料表征、热分析、力学、粒度、表面和物性测试设备
按产品用途保留的其他专用仪器