ASM International Previum 预清洁模块
ASM 官网列出 Previum V3、Previum NEXT 和 Previum VP 三种解决方案。Previum 设计用于在晶圆进入 Intrepid 工具进行外延沉积前清洁原生氧化物和碳污染物
- 型号
- Previum
- 产品名称
- Previum®
- 产品说明
- Our Previum® preclean module delivers superior surface preparation by removing contaminants from silicon wafers, ensuring optimal conditions for high-quality epitaxial deposition. Three solutions are available: Previum® V3 for native oxide