原子层沉积系统ASM International型号 XP4 EmerALDASM International XP4 EmerALD 原子层沉积系统XP4 EmerALD 是 ASM 官网列出的 ALD 工艺模块,用于沉积薄的共形金属层和介电层,适用于先进 CMOS 栅堆栈等应用。