ASM International XP4 EmerALD 原子层沉积系统
XP4 EmerALD
XP4 EmerALD 是 ASM 官网列出的 ALD 工艺模块，用于沉积薄的共形金属层和介电层，适用于先进 CMOS 栅堆栈等应用。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 ASM International XP4 EmerALD，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
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EmerALD 工艺腔采用喷淋头式工艺气体分布方法，以保证气体均匀输送到晶圆表面。
该模块具有远程等离子体腔体清洁能力，多个工艺可在两次腔体清洁之间保持更长的腔体性能周期，从而提高设备正常运行时间。
最多四个 EmerALD 工艺模块可配置到 ASM XP 集群平台上。
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