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多轴压电柔性铰链平台

PI多轴压电陶瓷柔性铰链平台可在多达六轴上实现亚纳米级精度的定位和扫描，包括倾斜和偏转角运动。版本涵盖最紧凑的立方体设计到大孔径和低规格。应用包括样本调整、技术、光学计量、光纤定位和光子学以及原子力显微镜