俄歇电子能谱仪(AES)PHI / Physical Electronics型号 PHI 710俄歇电子能谱仪(AES)产品特点 ·使用CMA同轴分析器,同时实现高灵敏度和高传输率。即使在低电流高空间分辨率情况下,都可轻松的进行分析。·以20kV加速电压和电流1nA进行俄歇分析,AES空间分辨率可达≤8nm型号PHI 710