俄歇电子能谱仪（AES）
PHI 710
产品特点 ·使用CMA同轴分析器，同时实现高灵敏度和高传输率。即使在低电流高空间分辨率情况下，都可轻松的进行分析。·以20kV加速电压和电流1nA进行俄歇分析，AES空间分辨率可达≤8nm
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 PHI / Physical Electronics PHI 710，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
← 返回产品列表
产品特点 ·使用CMA同轴分析器，同时实现高灵敏度和高传输率。即使在低电流高空间分辨率情况下，都可轻松的进行分析。·以20kV加速电压和电流1nA进行俄歇分析，AES空间分辨率可达≤8nm。
·在拥有所有CMA优点的同时，并结合获得AVS(美国真空协会)设计奖的高能量分辨率功能，AES可以进行各种纳米级区域的化学态分析。·Windows兼容的简易操作和功能强大的数据处理软件。
同轴筒镜分析仪CMA实现高灵敏度和高通量分析 Key technology 同轴筒镜分析仪(CMA:Cylindrical Mirror Analyzer) 同轴 CMA 是PHI公司在其电子光谱仪上的重大发明。
CMA能全方位360度收集产生的俄歇电子，因此具有不受样品形貌和倾角影响的优点。图3 显示同轴 CMA 和非同轴谱仪SCA的灵敏度比较。CMA 从垂直入射到角度入射均能表现出高灵敏度特点，角度依赖性低，从而采用各种入射角度，分析各种形貌的样品均可得到优异的灵敏度和定量结果。
Application 比较分析形态复杂的样本 图4比较CMA和传统SCA所采集的球状样品的SEM成像，以及俄歇成分影像，SCA中俄歇成分图的阴影效果非常明显，而CMA在360°收集讯号的能力下所获得的SEM像和俄歇成分像可准确地反映真实结果。
SEM空间分辨率≦ 3 nm AES成分像空间分辨率≤ 8 nm 俄歇分析通过SEM观察确定分析位置，再进行采谱，成分分布成像和深度剖析。在SEM观察时需要细小的聚焦电子束斑，同时进行俄歇分析，需要非常稳定的电子束。
SEM成像分辨率可达3纳米左右，PHI 710使用低噪声电源(图1)，采用隔音罩以减小振动、声音、和温度的影响，AES分析时分辨率可达到8nm 以下(20 kV 1nA).图2案例:球墨铸铁断面中晶间杂质的分析。
从左图所示：二次电子像，在图2中从左到右的影像所示分别为Ca(蓝色) Mg(绿色) Ti(红色)俄歇成分像，叠图以及S的俄歇成分分布像，表明了AES纳米级微区的化学分析能力。AES化学态分析 key technology 图谱和分布像 PHI710 AES 成分像，每个像素点对应的图谱可对元素存在的化学态进行解析和进阶的化学态成像。
提交需求
请填写必填信息，我们将在工作日尽快回复。