多轴压电柔性铰链平台

多轴压电柔性铰链平台

XYZ向紧凑型压电管

带孔径的XYZ向压电陶瓷平台

压电柔性铰链Z向/偏摆平台

6轴压电平台

PI多轴压电陶瓷柔性铰链平台可在多达六轴上实现亚纳米级精度的定位和扫描，包括倾斜和偏转角运动。版本涵盖最紧凑的立方体设计到大孔径和低规格。

XYZ扫描仪是定位技术的全能者。应用包括样本调整、技术、光学计量、光纤定位和光子学以及原子力显微镜。

所有压电陶瓷纳米定位系统均已通过工厂校准，测量日志随产品交付。

P-616 NanoCube纳米定位器

用于纳米级定位和光纤校准的紧凑型并联运动压电系统

X/Y向上的行程：100µm

Z向上的行程：100µm

X/Y向上的双向重复精度：10nm/20nm

Z向上的双向重复精度：10nm

P-611.3 NanoCubeXYZ压电陶瓷系统

用于纳米级定位和光纤校准的紧凑型多轴压电系统

最大有效载荷：1.5kg

P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器

具有孔径的高精度XYZ扫描仪

P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台

高精度纳米定位器，最多支持3轴

X/Y行程: 可达300 µm

Z行程: 可达300 µm

最大有效载荷: 可达25 kg

P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪

高动态纳米定位器/带直接位置测量的扫描器

X/Y行程: 可达200 µm

Z行程: 20 µm

最大有效载荷: 5 kg

P-518 • P-528 压电陶瓷Z向偏摆位移台

大通光孔径，高动态性能

P-562.6CD PIMars6轴纳米定位平台

具备六自由度的高精度纳米定位器

X/Y/Z行程：200 µm

θX/θY/θZ向的旋转范围：0,5 mrad

X/Y/Z向的单向重复精度：2 nm / 2 nm / 3 nm

θX/θY/θZ双向重复精度：0,1 µrad / 0,1 µrad / 0,15 µrad

最大有效载荷：6 kg

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