MX63/MX63L
适用于检测最大尺寸300 mm的晶圆、平板显示器、电路板以及其他大尺寸样品的显微镜。使用MX63可让您的工作流程更加顺畅。
- 集成电路图形不够清晰。
- 晶圆颜色不可见。/ 晶圆颜色和集成电路图形均清晰可辨。
- 样品本身不可见。
- 残留物不够清晰。/ 集成电路图形和残留物均清晰可辨。
- 表面反光。
- 来自不同角度定向暗场的多幅图像。/ 通过将无光晕的清晰图像拼接在一起，合成一张清晰的样品图像。
- 部分区域存在眩光。
- 使用HDR可清晰呈现暗光区域和明亮区域。/ TFT阵列因彩色滤光片的亮度而漆黑一片。/ TFT阵列利用HDR获得呈现。