测量方法
产品概述与应用
产品特点：
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专门针对半导体等超精密行业研发的高速影像测量仪
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固定桥式结构，确保高稳定性
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利用 Non-Stop 高速测量功能大幅缩短测量时间
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采用高性能 COMS 光学传感器、激光传感器的非接触式测量
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可选接触式测头，可实现接触/非接触兼容测量
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利用高倍变焦镜头应对多种测量尺寸
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多种照明支持，可进行非常好的测量选择
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使用大理石构造，将热变形非常小化
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相同分布热膨胀，确保校正的均匀性
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适合精密零件的快速测量
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影像测量机非常高的水准
技术参数
左右滑动表格，可查看完整参数。
| LGT系列 高速龙门影像仪 技术参数 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| X | Y | Z | ||||||
| 测量行程(mm) | 400~1050 | 500~850 | 150~250 | |||||
| 最大允许误差MPE(μm,L:mm) | XY | 1.3+L/300~1.8+L/300 | ||||||
| Z | 1.3+L/300~1.8+L/300 | |||||||
| 超高速 Non-Stop 快速测量： | ||||||||
| -采用世界领先的高速不停顿测量技术，实现真正的动态测量、动态补偿，极大的缩短了测量时间； -测量时间对比数据 | ||||||||
| 100孔 | 1000孔 | 9000孔 | ||||||
| 传统测量 | Non-Stop | 传统测量 | Non-Stop | 传统测量 | Non-Stop | |||
| 210秒 | 34秒 | 35分钟 | 7分钟 | 315分钟 | 63分钟 | |||
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