测量方法
产品概述与应用
CF系列 高速轮廓测量仪
高速尺寸测量，显著提高测量效率，测量速度可高达2mm/s!
磁吸式测杆为测量带来更多优势。三点式磁吸定位模块，切换传感器仅需1秒！系统中存储不同测杆的校准数据，更换后，无需校正直接测量，依旧能保证超高测量精度。
采用高速并行数据采集单元，硬件触发、硬件高速采样，无延时。足够密集及稳定的数据源为后期数据处理、计算提供非常有力的保障!
技术参数
左右滑动表格，可查看完整参数。
| CF-高速轮廓测量仪技术参数 | ||
|---|---|---|
| 测量范围 | X轴 | 120-220mm |
| X轴分辨率 | 0.1μm | |
| Z轴 | 420、620mm | |
| 轮廓传感器 | Z1轴量程 | 30-60mm |
| Z1分辨率 | 0.02μm | |
| 轮廓精度 | Z1线性精度 | ≤±(0.8+|0.05H|)μm |
| 圆弧 | ±(2+R/8)μm | |
| 角度 | ±2' | |
| 直线度 | 0.5μm/100mm(截止波长2.5) | |
| 驱动速度 | X轴驱动方式 | 电动 |
| Y轴驱动方式 | 电动 | |
| 测量速度 | 高达2mm/s | |
| 大理石尺寸 | 500mm×800mm | |
| 台面材质 | 天然大理石 | |
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